S系列氣體層流質量流量計
匹配科學工作者的質量流量計
適合實驗室使用
配備觸摸式顯示屏,型號多樣
低至0.1SCCM,高達5000SLPM均可準確測量
層流質量流量計【LAMINAR MASS FLOW METER,簡稱MFM】基于內部補償型層流壓差專利技術【專利號:ZL 2015 1 0610446.0】,內置壓力和溫度傳感器,能充分補償因溫度和壓力引起的體積流量和質量流量間的差異,可快速精確測量過程氣體的實時溫度、壓力、工況流量、標況流量和累計流量五大參數。如您需要精確和快速測量氣體流量、泄露率檢測或作為標準表進行量值傳遞與校準等,可選用易度的流量計。
層流質量流量計由層流元件、壓力傳感器、壓差傳感器、溫度傳感器和電路部分組成。
經過層流元件將不規則的湍流狀態規整為規則的層流運動狀態
測得層流元件的兩端壓力差,轉化為電信號,計算工況流量
實時采集并修正補償因溫度和壓力造成的波動,計算為標況體積流量,即質量流量。